东方晶源申请电子束倾斜角度量化方法等专利有效提高倾斜角度的解算精度和稳定性 

　　金融界2025年8月13日消息，国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司申请一项名为“电子束倾斜角度的量化方法、电子设备及产品”的专利，公开号CN120471879A，申请日期为2025年05月。

　　专利摘要显示，本发明提供了一种电子束倾斜角度的量化方法、电子设备及产品。其中电子束倾斜角度的量化方法包括：通过扫描电子显微镜分别获取具有三维旋转角度的棱锥形样品的第一图像和第二图像；利用差分滤波器增强第一图像和第二图像的边缘信息，并通过二值化方法提取关键点集；从关键点集中提取第一图像和第二图像中的特征直线；结合三维旋转矩阵与第一图像的特征直线构建目标函数，通过Nelder-Mead算法解算出棱锥形样品的三维旋转角度；结合倾斜变换矩阵与第二图像的特征直线构建线性方程组，通过最小二乘法解算出电子束的二维倾斜角度，能够消除样品旋转带来的几何误差，为量化电子束倾斜角度排除干扰；有效提高倾斜角度的解算精度和稳定性。

　　天眼查资料显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目23次，财产线条，此外企业还拥有行政许可18个。